Calibración de estándares: paso estándar

Standard-calibration

Estándar de calibración de Nanuler

Este estándar de calibración versátil está diseñado para la calibración de AFM, SEM, perfilómetros ópticos y mecánicos. Las características incluyen alturas de escalón, líneas, cuadrículas, cuadro de aumento y estructuras de medición de diferentes pasos. Las características están grabadas en SiO2 y Si y están disponibles opcionalmente con un recubrimiento metálico para mejorar la reflectividad y reducir las cargas estáticas.

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Características de la altura del escalón.

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Step height

Esta estructura de altura con forma de hueso proporciona una funcionalidad única para una fácil ubicación. El SiO2 crecido de forma precisa y uniforme se utiliza para alturas de paso inferiores a 1 µm. Los escalons de altura de silicio se utilizan para escalones de 5 a 25 µm.

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Magnification box

Se pueden usar cuatro cajas concéntricas (altura de 2 µm, 5 µm, 10 µm y 50 µm) para verificar el aumento y la linealidad x-y. Estas estructuras se pueden usar para verificar la ampliación en el rango de aumentos de 100x a 50,000x en SEM.

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Network

Hay 4 configuraciones de parámetro de paso diferentes con pasos de 3 µm, 10 µm, 20 µm y 50 µm. Estas estructuras están diseñadas para la calibración x-y de los modelos AFM, SEM, TEM y Profilers.

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Grids

Estas cuadrículas se pueden usar para medir la topografía de la superficie, la rugosidad y la ampliación con la mayoría de los SPM y los perfiles disponibles en el mercado. Otras aplicaciones incluyen enfocar haces y definir / verificar las alturas de la etapa Z observando la dispersión del haz.

 

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Multipurpose structures
Estas network de círculos, barras y cuadrados de diferentes alturas (1 µm, 2 µm, 5 µm, 10 µm, 20 µm, 50 µm, 100 µm y 200 µm) pueden usarse para controlar el tamaño del movimiento (XYZ) y Proporcionar una referencia a diferentes anchos de línea.

Caracteristicas

  • Step Material:  Si and SiO2
  • Nominal Step Heights:
    • SiO2 Steps: 100 nm, 200 nm, 500 nm and 1000 nm
    • Si Steps:  5 µm, 10 µm and 25 µm
  • Metal Coating: Cr coating (optional)
  • Traceability:  NIST calibrated Standards (Optional)
  • Die Size:  8.0 mm x 8.2 mm x 0.5 mm
  • Mounting Options:  On quartz substrate and metal disc

Liza

Step Height Description Step Type Metal Coating Mounted on Metal Disc Mounted on Quartz Substrate NIST Traceable Option
100 nm  100 nm SiO2 Step Height Reference SiO2
 100 nm SiO2 Step Height Reference, mounted on Quartz Substrate SiO2 Yes Yes
100 nm SiO2 Step Height Reference, mounted on Metal Disc SiO2 Yes  

Yes
 100 nm SiO2 Step Height Reference, metal coated SiO2 No
 100 nm SiO2 Step Height Reference, metal coated and mounted on Quartz Substrate SiO2 Yes Yes Yes
100 nm SiO2 Step Height Reference, metal coated and mounted on Metal Disc SiO2 Yes Yes  

Yes
200 nm  200 nm SiO2 Step Height Reference SiO2
 200 nm SiO2 Step Height Reference, mounted on Quartz Substrate SiO2 Yes Yes
200 nm SiO2 Step Height Reference, mounted on Metal Disc SiO2 Yes Yes
 200 nm SiO2 Step Height Reference, metal coated SiO2 Yes No
 200 nm SiO2 Step Height Reference, metal coated and mounted on Quartz Substrate SiO2 Yes Yes Yes
200 nm SiO2 Step Height Reference, metal coated and mounted on Metal Disc SiO2 Yes Yes  

Yes
500 nm  500 nm SiO2 Step Height Reference SiO2
 500 nm SiO2 Step Height Reference, mounted on Quartz Substrate SiO2 Yes Yes
500 nm SiO2 Step Height Reference, mounted on Metal Disc SiO2 Yes Yes
 500 nm SiO2 Step Height Reference, metal coated SiO2 Yes
 500 nm SiO2 Step Height Reference, metal coated and mounted on Quartz Substrate SiO2 Yes Yes Yes
500 nm SiO2 Step Height Reference, metal coated and mounted on Metal Disc SiO2 Yes Yes Yes
1 µm  1 µm SiO2 Step Height Reference SiO2
 1 µm SiO2 Step Height Reference, mounted on Quartz Substrate SiO2 Yes Yes
1 µm SiO2 Step Height Reference, mounted on Metal Disc SiO2 No Yes Yes
 1 µm SiO2 Step Height Reference, metal coated SiO2 Yes
 1 µm SiO2 Step Height Reference, metal coated and mounted on Quartz Substrate SiO2 Yes Yes Yes
1 µm SiO2 Step Height Reference, metal coated and mounted on Metal Disc SiO2 Yes Yes Yes
5 µm  5 µm SiO2 Step Height Reference Si
 5 µm SiO2 Step Height Reference, mounted on Quartz Substrate Si Yes Yes
10 µm  10 µm SiO2 Step Height Reference Si
 10 µm SiO2 Step Height Reference, mounted on Quartz Substrate Si Yes Yes
30 µm  30 µm SiO2 Step Height Reference Si
 30 µm SiO2 Step Height Reference, mounted on Quartz Substrate Si Yes Yes

 

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