Mapeo de resistividad y conductividad
Serie R50
1. Sonda de cuatro puntos y sistemas de sonda de corrientes parásitas
2. Mapeo de muestra en configuraciones rectangulares, lineales, polares y personalizadas
3. Recorrido X-Y de hasta 200 mm
4. Mida un rango de diez décadas de resistencia de la hoja en películas conductoras y semiconductoras.
5. Medición con y sin contacto
Las herramientas de medición de resistencia de láminas de Filmetrics® combinan la tecnología desarrollada y perfeccionada por KLA durante más de 30 años con la tecnología de instrumentos de sobremesa desarrollada durante los últimos 20 años por el equipo de Filmetrics. Las tecnologías de KLA incluyen métodos de contacto y sin contacto. La familia Filmetrics de instrumentos de medición de resistencia de láminas puede medir láminas conductoras y películas delgadas depositadas en varios sustratos
Aplicaciones
Se admite una amplia gama de medidas, que incluyen, entre otras, las siguientes:
- Espesor de la película metálica
- Espesor del sustrato
- Resistencia de la hoja
- Resistividad
- Conductividad
- Películas apiladas
Más información sobre aplicaciones
- Altura de los escalones
- Textura: rugosidad y ondulación
- Arco y forma
- Desplazamiento de borde
- Examen de averías
Mapeo automatizado de resistividad / conductividad de películas
La serie Filmetrics R50 proporciona mediciones de sondas de contacto de cuatro puntos (4PP) y de corrientes parásitas sin contacto (EC). El R50 mapea la resistividad / conductividad de la película conductora tan rápidamente como 1 punto / seg. La platina X-Y motorizada utiliza un plato de oblea estándar o un soporte de muestra personalizado para tamaños de muestra de hasta 300 mm y un área de medición de hasta 200 mm.
Características estándar:
- Etapa X-Y automatizada con:
- Recorrido de 100 mm x 100 mm
- Recorrido de 200 mm x 200 mm (modelos -200)
- Recorrido de la etapa Z de 100 mm
- Etapa inclinable con recorrido de +/- 5 °
- Número ilimitado de ubicaciones de medición en un mapa de muestra
ADVANTAGES
- Sonda de cuatro puntos y sistemas de sonda de corrientes parásitas
- Mapeo de muestra en configuraciones rectangulares, lineales, polares y personalizadas
- Recorrido X-Y de hasta 200 mm
- Mida un rango de diez décadas de resistencia laminar en películas conductoras y semiconductoras
- Medición con y sin contacto
Software de la serie R50: Automatización de medidas
EL GENERADOR DE PATRONES DE MAPAS
El generador de patrones de mapas incorporado le permite generar fácilmente los patrones de puntos necesarios para medir el área relevante de sus muestras, ahorrando así tiempo durante la adquisición de datos.
Estos son solo algunos de los parámetros que puede ajustar para personalizar las propiedades de su mapa:
-Mapas redondas o cuadradas
-Patrones radiales o rectangulares
-Exclusión de centro o borde
-Densidad de puntos
VISUALIZACIÓN DE RESULTADOS DE MEDICIÓN EN 2D Y 3D
Ya sea que esté midiendo resistividad, resistencia de la hoja o conductividad, RsMapper le permite mostrar los mapas de medición resultantes en 2D o 3D. Cambie fácilmente entre los mapas para los parámetros de medición individuales y gire libremente los perfiles 3D para obtener una vista óptima de los resultados.
UNIFORMIDAD DE PELÍCULA TIWN
El software RsMapper genera mapas fáciles de visualizar de la resistividad variable de la película. El mapa de resistencia de la hoja medido de una película TiWN que se muestra a continuación ilustra la variación en el espesor de la película a través de la oblea debido al proceso de deposición. El mapa revela la variación no radial del proceso.
MEDICIONES DE ALTA SEÑAL A RUIDO DE UNA PELÍCULA DE METAL EN SI
El sistema R50-4PP brinda al usuario la opción de revisar el mapa de medición como un gráfico de puntos que relacionan la resistividad con el momento en que se realizó cada medición. Los puntos graficados ilustran la calidad de la relación señal-ruido del sistema con resistividad variable. La pestaña de historial es una herramienta ideal
para casos de uso de producción e ilustra cualquier anomalía puntual en una película. Estos se remontan a
ubicaciones de obleas específicas y se investigan más a fondo para diagnosticar problemas de proceso.
Modelos (disponible en el tercer trimestre de 2020)
| Model | Description |
|---|---|
| R50-4PP | Uses four-point probe to measure sheet resistance; 100mm travel motorized x-y stage; maps samples up to 100mm in diameter; accommodates samples up to 200mm in diameter |
| R50-EC | Uses non-contact eddy-current probe to measure sheet resistance; 100mm travel motorized x-y stage; maps samples up to 100mm in diameter; accommodates samples up to 200mm in diameter |
| R50-200-4PP | Uses four-point probe to measure sheet resistance; 200mm travel motorized x-y stage; maps samples up to 200mm in diameter |
| R50-200-EC | Uses non-contact eddy-current probe to measure sheet resistance; 200mm travel motorized x-y stage; maps samples up to 200mm in diameter |
Especificaciones
General
| Z Range | 100mm |
| Z Stage Type | Automated |
| X-Y Stage Type | Automated |
| Sample Max Weight | 2.5kg |
| Tip-Tilt Stage | +/- 5°, Manual |
Mechanical Performance
| X-Y Stage Range | 100mm x 100mm |
| Sample Max Width | 265mm |
| System Size, W x D x H | 305mm x 305mm x 550mm |
| System Weight | 15kg |
| X-Y Stage Range | 200mm x 200mm |
| Sample Max Width | 365mm |
| System Size, W x D x H | 406mm x 406mm x 550mm |
| System Weight | 22kg |
Electrical Performance 4PP
| Site Repeatability | <0.2% |
| Accuracy | +/- 1% |
| Measurement Range 1 | 5mOhm/sq - 5MOhm/sq |
| Matching 1 | <0.2% |
Electrical Performance EC
| Site Repeatability | <0.2% |
| Accuracy | +/- 1% |
| Measurement Range 1 | 1mOhm/sq - 10Ohm/sq |
| Matching 1 | <0.2% |
4PP (four-point probe)
| Probes | Type A | Type C | Type E | Type F |
| Probe Spacing | 1mm | 1mm | 1.625mm | 0.625mm |
| Probe Contact Radius | 40µm | 200µm | 40µm | 40µm |
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