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Perfilómetro óptico para I&D

Instruments microxam-800

MicroXAM 800

1. Para la industria
2. Medición automatizada en varios sitios.

3. Luz blanca VSI y PSI

4. Interferométrica: luz blanca VSI - Nomarski - PSI

5. Simple y flexible

 

El MicroXAM-800 es un perfilador óptico basado en un interferómetro de luz blanca que mide las características de nivel nanométrico con interferometría de barrido de fase (PSI), y características que van desde micras a milímetros con interferometría de barrido vertical (VSI). Con una configuración simple y flexible para análisis únicos o mediciones automatizadas en múltiples sitios, el MicroXAM-800 admite entornos de investigación, desarrollo y producción.

 

 

Perfilometría óptica

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Aplicaciones en perfilometría óptica

  • Altura de paso: altura de paso 3D desde nanómetros a milímetros
  • Textura: rugosidad y ondulación 3D
  • Forma: arco y forma 3D
  • Rolloff Edge: mediciones de perfil de borde 3D
  • Examen de fallas: topografía de superficie 3D
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Zsi
Topography - page 2
Lens
Roll off
Gan defect on pss2

Más información sobre aplicaciones

- Ciencia de superficie

- Ciencia de los materiales

- Células solares - Materiales para energía

- Semiconductores

- Polímeros y compuestos

- Rugosidad de la superficie

- Revestimientos

 

Profilometría óptica para la industria.

El perfilómetro óptico MicroXAM-800 es un sistema de medición de topografía de superficie 3D sin contacto. El interferómetro de luz blanca MicroXAM genera mediciones de alta resolución de la superficie con resolución al nivel de angstrom. El sistema admite interferómetros de exploración de fase y vertical, los cuales son técnicas tradicionales de interferometría de exploración de coherencia. MicroXAM amplía estas técnicas con SMART Acquire para simplificar la configuración para usuarios novatos, y en interferometría de ensamblaje en z para permitir la medición de grandes alturas de paso a alta velocidad.

La ventaja de la técnica de medición MicroXAM es que la resolución vertical de la medición es independiente de la apertura digital del objetivo, lo que permite mediciones de alta resolución con un gran campo de visión. La superficie medida se puede aumentar aún más combinando varios campos de visión en una sola medición. El MicroXAM también presenta una interfaz de usuario simple e innovadora para admitir una amplia gama de entornos de trabajo, desde investigación y desarrollo hasta producción.

  • Interferometría de exploración de fase y vertical para entidades que van desde nanómetros a milímetros
  • Adquiera el modo de adquisición SMART simplificado con la configuración más conocida para ingresar un rango de medición
  • Modo de adquisición de interferometría de punto Z para escaneo individual y compilación de múltiples superficies separadas por grandes distancias z
  • Stiching XY para combinar áreas de muestreo contiguas más grandes que un solo campo de visión en un solo escaneo
  • Creación simplificada de flujos de trabajo sofisticados de medición y análisis utilizando scripts, para flexibilidad en ubicaciones de medición, nivelación, filtrado y cálculo de parámetros
  • Portado de algoritmos de otros perfiladores ópticos y estilos para aprovechar las mejores técnicas conocidas.

VENTAJAS

- Para la industria

- Medición automatizada en varios sitios.

- Luz blanca VSI y PSI

- Interferométrica: luz blanca VSI

- Nomarski

- PSI

- Simple y flexible

  • Phase and vertical scanning interferometry for entities ranging from nanometer to millimeter
  • Acquire the simplified SMART acquisition mode with the best known recipe configuration for entering a measurement range
  • Z-point interferometry acquisition mode for individual scanning and compilation of multiple surfaces separated by large distances z
  • XY stitching for combining contiguous sampling areas larger than a single field of view in a single scan
  • Simplified creation of sophisticated measurement and analysis workflows using scripts, for flexibility in measurement locations, leveling, filtering and parameter calculations
  • Porting of algorithms from other optical profilers and styli in order to take advantage of the best known techniques
Micro-mirror
Backside roughness

Options

10x objective
Microxam-800 - tool only
200 mm universal chuck v2
Ts-series-side-profile-cropped-1500px
Vlsi si chip v2
Options - apex software on microlens array
Offline software

Objective lenses
The five-position turret contains objectives with magnifications ranging from 5x to 100x, to support nano, micro and macro-topography applications. The turret can be quickly removed to directly mount a 2.5x or 5x objective. Calibrations allow you to center and center the characteristics of the samples when switching between objectives.

Stages

Motorized stages for the X-Y and Z axes are standard on the MicroXAM-800 system. The X-Y stage has a range of 152 mm by 152 mm. Stage Z has a range of 125mm and supports an optional offset of 76mm for large samples. An optional theta stage has a range of 360 °. The movement on all axes of movement is programmable with script. A manual tilt and tilt step is standard with a movement of ± 6 °.

Sample Holder

Several sample holders are available to support a variety of sample types. Options include a simple flat surface, optical bench layout, universal precision chucks (150mm or 200mm) and a solar cell mandrel (156mm x 156mm). The chucks include locating pins for various sample configurations and a manual vacuum switch.

Insulation tables
The MicroXAM offers table and stand-alone passive insulation table options. The Granite Isolator ™ series offers table systems combining granite with high-quality silicone gel to provide passive insulation. TMC 63-500 series is a stand-alone table that uses pneumatic isolators to provide passive isolation. The TS Herzan series offers table systems using piezoelectric drives to provide active isolation.

Step height

The MicroXAM-800 uses the tread height standards traceable to NIST, thin film and thick film, proposed by the VLSI standards. The standards include an engraved quartz step with a chrome coating. The proposed step heights range from 8 µm to 250 µm.

Apex analysis software

Apex analysis software enhances the standard data analysis capabilities of the MicroXAM-800 with an extensive suite of leveling, filtering, step height, roughness, and surface topography analysis techniques. Apex supports ISO roughness calculation methods, as well as local standards such as ASME. Apex also serves as a reporting platform with the ability to add text, annotations and pass / fail criteria. Apex is available in eight languages.

Offline analysis software

MicroXAM-800 offline software has the same data analysis and recipe creation capacity as the tool. This allows the user to create recipes and analyze data without using precious time.

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