Perfilómetro mecánico del nanómetro a milímetro.
¡Alta resolución y automatización al mejor precio!
D600
1. Programación para mediciones automáticas.
2. Baja carga aerodinámica
3. platina de 200 mm
4. Rotación manual de 360 °
5. Aspiración central
6. Detector óptico doble
El perfilómetro Alpha-Step D-600 es capaz de medir alturas de paso 2D y 3D que van desde unos pocos nanómetros hasta 1200 µm. También admite mediciones de rugosidad en 2D y 3D, así como arco y tensión en 2D para entornos de I&D y producción.
El D-600 incluye una plataforma motorizada con un mandril de muestra de 200 mm y óptica avanzada con controles de video mejorados.
Aplicaciones de perfilometría mecánica
- Altura de paso: altura de paso 2D y 3D
- Textura: rugosidad y ondulación 2D y 3D
- Forma: arco y forma 2D y 3D
- Tensión: tensión de película delgada 2D y 3D
- Examen de defectos: topografía de la superficie de defectos 2D y 3D
- industrias
- Universidades, laboratorios e institutos de investigación.
- Semiconductores y semiconductores compuestos
- LED: diodos emisores de luz
- Solar
- MEMS: sistemas micro-electromecánicos
- Almacenamiento de datos
- Automóvil
- Equipo médico
- Universidades, laboratorios e institutos de investigación.
Más información sobre aplicaciones
Profilometría desde nm hasta mm
El perfilómetro Alpha-Step D-600 admite mediciones 2D y 3D de altura y rugosidad del paso, así que arco y tensión 2D. La innovadora tecnología de sensor óptico de palanca ofrece mediciones de alta resolución, un amplio rango vertical y capacidad de medición de fuerza reducida.
Una ventaja de la técnica de medición del lápiz es que es una medición directa, independiente de las propiedades del material. La fuerza ajustable y la elección del lápiz permiten una medición precisa de una amplia variedad de estructuras y materiales. Esto le permite cuantificar su proceso para determinar la cantidad de material agregado o eliminado, así como cualquier cambio en la estructura midiendo la rugosidad y las tensiones.
VENTAJAS
- Altura de paso: nanómetros a 1200 µm
- Baja resistencia: 0.03 a 15 mg
- Video: cámara a color de alta resolución de 5MP
- Corrección de la distorsión trapezoidal: elimina la distorsión debida a la óptica de la vista lateral
- Corrección de arco: elimina los errores debidos al movimiento del arco del lápiz.
- Tamaño compacto: huella pequeña del sistema
- Software: interfaz fácil de usar
Opciones
Stylus options
The Alpha-Step D-600 offers a variety of styli available to support the measurement of step height, steps with a high aspect ratio, roughness, sample bow and stress. The tip radius is between 100 nm and 50 µm and determines the lateral resolution of the measurement. The included angle ranges from 20 to 100 degrees, which specifies the maximum aspect ratio of the feature being measured. All styli are made from diamond to reduce wear and increase the lifespan of the stylus.
The Alpha-Step D-600 has a range of chucks available to meet application needs. The standard mandrel is a nickel-plated aluminum vacuum mandrel for samples up to 200 mm. A universal vacuum mandrel is also available and includes precision locating pins for samples from 50mm to 200mm. Both options support strain measurements with 3-point locators to keep the sample in a neutral position for precise bow measurements.
Insulation tables
The Alpha-Step D-600 offers table isolation and stand-alone options. The Granite Isolator ™ series offers tabletop insulation systems combining granite with high quality silicone gel to provide passive insulation. The Onyz series table insulation systems use pneumatic isolators to provide passive insulation. The TMC 63-500 series isolation table is a stand-alone steel frame table that uses pneumatic isolators to provide passive isolation.
The Alpha-Step D-600 uses the NIST traceable height standards in thin and thick layers offered by VLSI standards. The standards include an oxide step on a silicon matrix mounted on a quartz block. A step height range of 8 nm to 250 µm is available.
Apex analysis software
Apex analysis software enhances the standard data analysis capability of the D-500 with an extensive suite of leveling, filtering, step height, roughness and surface topography analysis techniques. Apex supports ISO roughness calculation methods, as well as local standards such as ASME. Apex can also serve as a reporting platform with the ability to add text, annotations and pass / fail criteria. Apex is available in eight languages.
Offline analysis software
The Alpha-Step D-600 offline software has the same data analysis capacity as the tool. This allows the user to analyze data without using the precious time of the tool.
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