Microscopio DHM – Ciencia de materiales
¡El único perfilómetro óptico en tiempo real!
DHM R Serie
1. Escaneo sin contacto
2. Profilometría 3D a una velocidad inigualable
3. Análisis MEMS, hasta 25 MHz
4. Medir bajo condiciones ambientales controladas
5. Medir la topografía de patrones transparentes
La serie DHM Reflection (DHM®-R1000, DHM®-R2100 y DHM®-R2200) son microscopios holográficos configurados en reflexión. Son ideales para medir objetos que reflejan total o parcialmente. Su capacidad para trabajar con interfaces de baja reflexión (menos del 1% de reflectividad) los convierte en instrumentos ideales para mediciones topográficas ópticas precisas en una amplia variedad de muestras.
- Serie R-1000: fuente láser única
- Serie R-2100: fuentes láser duales
- Serie R-2200: tres fuentes láser
Applications
Topografía dinámica
- Tribología 4D
- Microplaca
- " Rolex Learning Center "
- Deformación de la membrana.
- Polímero inteligente
- electroquímica
- Interfaz líquida
- Autoensamblaje
- Reloj oscilador
MEMS
- Micrófono MEMS
- sensores inerciales
- actuador MEMS - Voladizos MEMS
- MEMS óptico
- Transductores ultrasónicos
- Ondas acústicas de superficie
Topografía de la superficie
- Altura de escalón estándar
- Topografía.
- Microóptica
- Película delgada estructurada
- Análisis de acabado superficial
- Medición de planitud
- Caracterización de Metasurface
Mediciones automatizadas
- Inspección de defectos
- Control de calidad de rugosidad
- Examen de documentos forenses.
- Nivel de placa - medición de altura
More info on applications
- Surface topography
- Surface finish
- Fault inspection
- Structured thin film
- MEMS measurement
Profilometría 3D a una velocidad inigualable
DHM mide el mapa topográfico 3D de una superficie con una sola adquisición, sin necesidad de mecanismo de escaneo. Proporciona una adquisición rápida inmejorable, a una velocidad de hasta 1000 imágenes por segundo, lo que permite:
- Estudio del comportamiento dinámico 3D de muestras deformables.
- Pantalla rápida y análisis de grandes áreas.
- Inspecciones de rutina con alta productividad.
- Captura de topografías 3D en la cadena de producción, sin parar la muestra
Análisis MEMS, hasta 25 MHz
La unidad estroboscópica opcional sincroniza las mediciones de DHM® con la señal de excitación de un dispositivo MEMS.
El análisis de este conjunto único de datos proporciona:
- Secuencia cronológica de topografías 3D.
- Resonancia de frecuencia y respuestas
- Amplitud de vibración con resolución de 17 h para fuera del plano y 1 nm para movimientos en el plano
- Caracterización de movimientos complejos y muestras.
geometrías, incluidos agujeros
Medir bajo condiciones ambientales controladas
La configuración óptica única de DHM permite al usuario medir con una calidad óptica óptima:
A través de vidrio y líquidos de inmersión.
dentro de las cámaras ambientales y de vacío, bajo temperatura controlada, humedad, presión o composición de gas
Medir la topografía de patrones transparentes.
Análisis opcional de reflectometría DHM
El software permite medir:
- Topografía de estructuras transparentes.
- Espesor y valores de índice de refracción de multicapas estructuradas con espesores que van desde 10 nanómetros hasta decenas de micras
- Topografía de materiales blandos y líquidos.
La microscopía holográfica digital (DHM) es una tecnología patentada. Registra, con una cámara digital, los hologramas producidos por la interferencia entre el haz reflejado por la muestra y un haz de referencia generado dentro del microscopio. Los hologramas se procesan digitalmente para reconstruir un mapa óptico 3D de la muestra. La calibración vertical de DHM está intrínsecamente definida por la longitud de onda del láser. Proporciona datos y mediciones reproducibles y de alta precisión con una resolución interferométrica, es decir, una resolución subnanométrica vertical, así como una resolución lateral limitada por la elección del objetivo del microscopio. Gracias al procesamiento digital avanzado del holograma grabado, el enfoque nítido se puede realizar simultáneamente o después de la medición, en el procesamiento posterior sin ajuste manual de la altura de la muestra.
VENTAJAS
Especificaciones
R Serie Specifications
| R1000 | R2100 | R2200 | |
| Configuration | One laser source | Two laser sources | Three laser sources |
| Specificity | Single wavelength | Short synthetic wavelength | Short and large synthetic wavelengths |
| Measurement modes | Single wavelength | Single and dual wavelength | Single and dual wavelength |
| Accuracy (as demonstrated by taking the temporal standard deviation on 1 pixel over 30 measurements) | 0.15 nm | 0.15 / 3.0 nm * | 0.15 / 3.0 nm / 20 nm * |
| Vertical resolution (defined as twice the accuracy) | 0.30 nm | 0.30 / 6.0 nm * | 0.30 / 6.0 nm / 40 nm * |
| Repeatability (as demonstrated by taking the one sigma Rq value of 30 repeatability measurements on SiC reference mirror) | 0.01 nm | 0.01 / 0.1 nm * | 0.01 / 0.1 nm / 0.5 nm * |
| Vertical measuring range (without any scanning) |
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| Max. height of steps with sharp edges (Depends on the laser source(s) and operating wavelength(s) |
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* With / Without single wavelength mapping
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