Perfilómetro mecánico con la mejor relación calidad / precio
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P7
1. Altura de escalones desde unos pocos nanómetros hasta un milímetro
2. Producción e I&D
3. platina de 150 mm
4. Rotación manual de 360 °
5. Mediciones 2D y 3D
6. Rugosidad, arco y limitaciones.
El P-7 se basa en el acierto del sistema de perfilado de lápiz de mesa P-17 líder en el mercado. Integra el rendimiento de medición superior de la tecnología P-17 en una plataforma que ofrece una excelente relación precio / funcionalidad para un perfilómetro mecánico de sobremesa. El P-7 ofrece la capacidad de medir la altura de los pasos desde unos pocos nanómetros hasta un milímetro, para producción e investigación y desarrollo.
El sistema admite mediciones 2D y 3D de inclinación, rugosidad, arcos y restricciones para escaneos de hasta 150 mm sin costura.
Aplicaciones de perfilometría mecánica
- Altura de paso: altura de paso 2D y 3D
- Textura: rugosidad y ondulación 2D y 3D
- Forma: arco y forma 2D y 3D
- Tensión: tensión de película delgada 2D y 3D
- Examen de defectos: topografía de la superficie de defectos 2D y 3D
- industrias
- Universidades, laboratorios e institutos de investigación.
- Semiconductores y semiconductores compuestos
- LED: diodos emisores de luz
- Solar
- MEMS: sistemas micro-electromecánicos
- Almacenamiento de datos
- Automóvil
- Equipo médico
Más información sobre aplicaciones
Profilometría a la mejor calidad / precio
El P-7 se basa en el acierto del sistema de perfilado de lápiz de mesa P-17 líder en el mercado. Integra el rendimiento de medición superior de la tecnología P-17 en una plataforma que ofrece una excelente relación precio / funcionalidad para un perfilador de lápiz de sobremesa. El perfilador de stylus P-7 admite mediciones 2D y 3D de inclinación, rugosidad, arco y tensión para escaneos de hasta 150 mm sin costura.
VENTAJAS
- Altura de paso: nanómetros de hasta 1000 µm
- Baja resistencia con control de resistencia constante: 0.03 a 50 mg
- Escanee el diámetro completo de la muestra sin coser
- Video: cámara a color de alta resolución de 5MP
- Corrección de arco: elimina los errores debidos al movimiento del arco del lápiz.
- Software: interfaz de software fácil de usar
- Capacidad de producción: totalmente automatizado con secuenciación, reconocimiento de patrones y SECS / GEM
Opciones
Stylus options
The P-7 offers a variety of styli available to support the measurement of step height, steps with a high aspect ratio, roughness, sample curvature and stresses. The tip radius is between 100 nm and 50 µm and determines the lateral resolution of the measurement. The included angle ranges from 20 to 100 degrees, which specifies the maximum aspect ratio of the feature being measured. All styli are made from diamond to reduce wear and increase the lifespan of the stylus.
Sample plate
The P-7 has a range of chucks available to meet application needs. The standard is a universal vacuum chuck with precision positioning pins for samples from 50 to 150 mm. The universal mandrel supports arc and strain measurements with 3-point locators to support the sample in a neutral position. Additional options for solar samples and 200mm universal chucks are available.
Insulation tables
The P-7 offers both table and stand-alone insulation options. The Granite Isolator ™ series offers table systems combining granite with high quality silicone gel to provide passive insulation. The Onyz series table insulation systems use pneumatic isolators to provide passive insulation. The TMC 63-500 series isolation table is a stand-alone steel frame table that uses pneumatic isolators to provide passive isolation.
Step height
The P-7 uses NIST traceable step height standards, thin and thick, proposed by VLSI standards. The standards include an oxide step on a silicon matrix mounted on a quartz block or an engraved quartz step with a chrome coating. A step height range of 8 nm to 250 µm is available.
Apex analysis software
Apex analysis software enhances the standard data analysis capability of the P-7 with an extensive suite of leveling, filtering, stage height, roughness and surface topography analysis techniques. Apex supports ISO roughness calculation methods, as well as local standards such as ASME. Apex can also serve as a reporting platform with the ability to add text, annotations and pass / fail criteria. Apex is available in eight languages.
Offline analysis software
The P-7 offline software has the same data analysis and recipe creation capabilities as the tool. This allows the user to create recipes and analyze data without using precious time.
Pattern recognition uses pre-taught patterns to automatically align the sample. This allows fully automated measurements for increased measurement stability by reducing the impact of operator errors. Pattern recognition, combined with advanced calibrations, reduces positioning errors and allows transparent transfer of recipes between systems.
SECS / GEM and HSMS
SECS / GEM and HSMS communications support factory automation systems and allow remote control of the P-7. The measurement results are automatically reported to the host SPC systems, as well as the alarms and the main calibration / configuration data. The P-7 complies with SEMI E4, E5, E30 and E37 standards.
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