Profilomètre optique pour l’industrie
MicroXAM 800
1. Pour l'industrie
2. Mesure Automatisée sur plusieurs sites
3. Lumière blanche VSI & PSI
4. Interférométriques : lumière blanche VSI - Nomarski - PSI
5. Simple et flexible
Le MicroXAM-800 est un profileur optique basé sur un interféromètre en lumière blanche qui mesure les caractéristiques de niveau nanomètre avec interférométrie à balayage de phase (PSI), et les caractéristiques allant du micron au millimètre avec interférométrie à balayage vertical (VSI). Avec une configuration de recettes simple et flexible pour des analyses uniques ou des mesures automatisées sur plusieurs sites, le MicroXAM-800 prend en charge les environnements de recherche et développement et de production.
Profilomètrie Optique
Applications en profilométrie optique
- Hauteur de marche: hauteur de marche 3D de nanomètres à millimètres
- Texture: rugosité et ondulation 3D
- Forme: arc et forme 3D
- Rolloff Edge: mesures de profil de bord 3D
- Examen des défauts: topographie de surface 3D
- les industries
- Universités, laboratoires de recherche et instituts
- Semi-conducteur et semi-conducteur composé
- LED: diodes électroluminescentes
- Dispositifs d'alimentation
- MEMS: systèmes micro-électro-mécaniques
- Stockage de données
- Équipement médical
- Surfaces de précision
- Automobile
- Universités, laboratoires de recherche et instituts
Plus d'info sur les applications
- Science de surface
- Science des matériaux
- Cellules solaires
- Matériaux pour l'énergie
- Semi-conducteurs
- Polymères et Composites
- Rugosité de surface
- Revêtements
La profilométrie optique pour l'industrie
Le profilomètre optique MicroXAM-800 est un système de mesure de topographie de surface 3D sans contact. L’interféromètre à lumière blanche de MicroXAM génère des mesures haute résolution de la surface avec une résolution au niveau de l’angström. Le système prend en charge les interféromètres à balayage de phase et vertical, qui sont tous deux des techniques traditionnelles d'interférométrie à balayage de cohérence (CSI). MicroXAM étend ces techniques avec SMART Acquire pour simplifier la configuration des recettes pour les utilisateurs novices, et en interférométrie à assemblage z pour permettre la mesure de grandes hauteurs de pas à grande vitesse.
L'avantage de la technique de mesure MicroXAM réside dans le fait que la résolution verticale de la mesure est indépendante de l'ouverture numérique de l'objectif, ce qui permet des mesures haute résolution avec un grand champ de vision. La surface mesurée peut être encore augmentée en assemblant plusieurs champs de vision en une seule mesure. Le MicroXAM comporte également une interface utilisateur simple et innovante pour prendre en charge un large éventail d'environnements de travail, de la recherche et développement à la production.
AVANTAGES
- Pour l'industrie
- Mesure Automatisée sur plusieurs sites
- Lumière blanche VSI & PSI
- Interférométriques : lumière blanche VSI - Nomarski - PSI
- Simple et flexible
- Interférométrie à balayage de phase et vertical pour les entités allant du nanomètre au millimètre
- Acquérir le mode d'acquisition simplifié SMART avec la meilleure configuration de recette connue pour la saisie d'une plage de mesure
- Mode d'acquisition interférométrie par points Z pour le balayage individuel et la compilation de surfaces multiples séparées par de grandes distances z
- Couture XY pour la combinaison de zones d'échantillonnage contiguës plus grandes qu'un seul champ de vision en un seul balayage
- Création simplifiée de flux de travaux de mesure et d'analyse sophistiqués à l'aide de scripts, pour une flexibilité dans les emplacements de mesure, le nivellement, le filtrage et les calculs de paramètres
- Portage d'algorithmes à partir d'autres profileurs optiques et de stylets afin de tirer parti des meilleures techniques connues
Options
Lentilles d'objectif
Stages
Les stages motorisés pour les axes X-Y et Z sont standard sur le système MicroXAM-800. Le stage X-Y a une portée de 152 mm sur 152 mm. Le stage Z a une plage de 125 mm et prend en charge un décalage en option de 76 mm pour les échantillons de grande taille. Un étage thêta optionnel a une plage de 360 °. Le déplacement sur tous les axes de mouvement est programmable avec script. Une étape manuelle de basculement et d'inclinaison est standard avec un mouvement de ± 6 °.
Platine échantillon
Tables d'isolation
Hauteur de marche
La MicroXAM-800 utilise les normes de hauteur de marche traçables au NIST, à couche mince et à film épais, proposées par les normes VLSI. Les normes comportent une marche en quartz gravé avec un revêtement en chrome. Les hauteurs de marche proposées vont de 8 µm à 250 µm.
Logiciel d'analyse Apex
Logiciel d'analyse hors ligne
Le logiciel hors ligne MicroXAM-800 dispose de la même capacité d'analyse de données et de création de recette que l'outil. Cela permet à l'utilisateur de créer des recettes et d'analyser des données sans utiliser de temps précieux.
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