Perfilómetro óptico D-Surface-View
D-Surface-View
1. Medición de áreas grandes y pequeñas, desde pocas micras hasta cm
2. Multianálisis en una sola adquisición
3. Nanoescala
El D-Surface View está destinado a ayudar a los fabricantes de obleas de hasta 300mm de diámetro a reducir costes y a los fabricantes de chips a mejorar el rendimiento de los dispositivos fabricados con tecnología ultrafina.
El equipo se puede utilizar para el control de calidad de la superficie de obleas para semiconductores. Además, es capaz de medir insertos con o sin tratamiento, haciendo el análisis de forma, rugosidad, planitud y topografía en la misma medida.
Aplicaciones en perfilometría óptica
- Solar
- Fabricación de LED
- Automoción
- Equipo medico
- Universidades, laboratorios y centros de investigación
Más información sobre aplicaciones
- Textura: rugosidad y ondulación 2D y 3D
- Forma: Curvatura y forma 2D y 3D
- Stress: stress en películas delgadas
- Inspección de defectos 2D y 3D
Perfilometría óptica - Deflectometría
El D-Surface View está destinado a ayudar a los fabricantes a inspeccionar, utilizando tecnología óptica sin contacto, grandes superficies de hasta 300mm de diámetro para una producción y entrega sin defectos de alta calidad.
El equipo se puede utilizar para medidas individuales en un laboratorio de calidad o para medidas en lotes de producción en línea. Capacidad de análisis de forma, rugosidad, planitud y topografía en la misma medición.
Su rendimiento de muy alta resolución proporciona soluciones rápidas, confiables y muy sensibles, particularmente adecuadas para inspecciones de grandes superficies en múltiples industrias
Aplicaciones de medición :
- Textura: rugosidad y ondulación : Puede medir texturas 2D y 3D mientras cuantifica la rugosidad y la ondulación de la muestra. D-Surface View puede distinguir entre componentes de rugosidad y ondulación mediante filtros de software.
- Forma: curvatura y forma : Puede medir la forma 2D o la curvatura de una superficie y cuantificar la altura y el radio de estructuras curvas, como una lente.
- Inspección de defectos : Puede medir la topografía de los defectos, como la profundidad de un arañazo.
VENTAJAS
- Medición muy precisa en un área grande
- Proceso muy rápido
- Fácil de insertar en la línea de producción.
- No se requiere un posicionamiento preciso
Especificaciones
Características técnicas
| D-Surface View 100 | D-Surface View 300 | |
|---|---|---|
| Measuring surface | ||
| Out of plane tolerance | +/- 1 mm | +/- 3-4 mm |
| Lateral resolution | 22 μm | 66 μm |
| Measurement cycle time | <1 nm | 2 nm |
| Measurement time | typ. 3-5 sec | typ. 3-5 sec |
| Measurement time | typ. 6-25 sec | typ. 6-25 sec |
| Accuracy of elevation map | +/- 1 nm on 10 × 10 cm2 | +/- 1 nm on 30 × 30 cm2 |
| Cameras | 20 MPixels | 20 MPixels |
| Outer dimensions W × H × D | 400 × 300 × 300 mm3 | 500 x 900 x 500 mm3 |
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