Medición puntual de espesor de capa
El equipo nº1 mundial en medición de espesor de capa!
F20
1. Configuración compacta desde 10,000 €
2. 10Å a 10 mm
3. Medida rápida
4. Amplio rango de medición
Los F20, F10 y F3 son instrumentos de medición de espesor de película de uso general y se utilizan en miles de aplicaciones en todo el mundo. El equipo utiliza una fuente de luz (halógenta, ultravioleta o infrarroja) para iluminar la suprficie y recoger la luz reflejada al mismo tiempo. A partir del espectro de interferencia de la luz reflejada a distintas longitudes de onda, el espesor y el índice de refracción se pueden medir en menos de un segundo. Como todos nuestros instrumentos de medición de espesor, el F20 se conecta al puerto USB de su ordenador con Windows® y se instala en unos minutos.
- Serie F10: dedicada principalmente a la medición de reflectancia (espectro). Posibilidad de actualizarlo para permitir también la medición de capa delgada.
- Serie F20: solución versátil perfectamente adecuada para I&D y control de calidad.
- Serie F3: diseño simple y compacto que permite la medición in situ.
Reflectometría
Aplicaciones
- Películas semiconductoras
fotorresistente
Procesamiento de la película
dieléctricos - Recubrimiento óptico
Espesor de la capa dura
Recubrimiento antirreflejos - Pantallas
Oled
Espesor de vidrio
ITO y otros TCO - biomédico
parileno
Equipo médico
Más información sobre aplicaciones
- Amorfo y polisilicio
- dieléctrico - espesor duro
- Análisis de falla de IC
- ITO y otros TCO
- Equipamiento médico
- espesor del metal
- Microfluídica
- OLED
- Recubrimientos oftálmicos
- Recubrimientos de parileno
- Photoresist
- Silicio poroso
- Películas de tratamiento
- Índice de refracción & k
- Obleas y membranas de silicio
- Aplicaciones solares
- Laboratorios de enseñanza de semiconductores
- Rugosidad y acabado superficial
Desdé 10Å hasta 10 mm
Qué está incluido
- Filtro de aplanamiento (para sustratos altamente reflectantes)
- Espectrómetro integrado / fuente de luz
- Software FILMeasure 8
- Software independiente FILMeasure para análisis de datos remotos
- Platina de muestra SS-3 con cable de fibra óptica
- Estándares de reflectancia
- Espesor estándar
- Lámpara de repuesto TH-1
Beneficios adicionales
- Biblioteca con más de 130 materiales incluidos con cada sistema, con acceso a otros 100
- Ingenieros de aplicaciones disponibles para asistencia inmediata en las 24 horas (de lunes a viernes)
- Soporte en línea "Hands On"
- Programa de actualización de hardware
VENTAJAS
- Configuración compacta desde 10,000 €
- 10Å a 10 mm
- Medida rápida
- Amplio rango de medición
Accesorios
SampleCam
StageBase-XY10-Auto-100mm
Multi-value thickness standard
NIST-traceable thickness standard
Contact probe
Carrying case
Especificaciones
Model Specifications
| Model | Thickness Range* | Wavelength Range |
|---|---|---|
| F20 | 15nm - 70µm | 380-1050nm |
| F20-EXR | 15nm - 250µm | 380-1700nm |
| F20-NIR | 100nm - 250µm | 950-1700nm |
| F20-UV | 1nm - 40µm | 190-1100nm |
| F20-UVX | 1nm - 250µm | 190-1700nm |
| F20-XT | 0.2µm - 450µm | 1440-1690nm |
| F3-sX Series | 10µm- 3mm | 960-1580nm |
*film stack dependent
Thickness Range*
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