Reflectómetros automáticos de cartografía
F50
1. Mapeo rápido
2. Muestra de hasta 450 mm de diámetro
3. Muchos modelos de tarjeta
4. Personalizable
5. Automatizado
La familia de productos Filmetrics F50 puede mapear el grosor de la película tan rápido como dos puntos por segundo. Una etapa motorizada R-Theta acepta mandriles estándar y personalizados para muestras de hasta 450 mm de diámetro.
Los modelos de mapas pueden ser polares, rectangulares o lineales, o puede crear los suyos sin limitar el número de puntos de medición. Se proporcionan docenas de modelos de tarjetas predefinidos.
El sistema de mapeo de espesor de película F50 se conecta al puerto USB de su ordenador con Windows® y se puede configurar en minutos.
Los diferentes instrumentos F50 se distinguen principalmente por el grosor y el rango de longitud de onda. El estándar F50 es el más popular. Generalmente se requieren longitudes de onda más cortas (por ejemplo, F50-UV) para medir películas más delgadas, mientras que se usan longitudes de onda más largas para medir películas más gruesas, más rugosas y más opacas.
- F54 Serie: Fine spot size - sample up to 450mm in diameter - R&D. More information >
- F54-XY-200mm Serie: Acoustic protection cover - Production. More information >
- F60 Serie: High automation - notch detection - SECS / GEM interface. More information >
Aplicaciones
- Fabricación de semiconductores
- fotorresistente
- Óxidos / nitruros / SOI
- oblea
- fotorresistente
- Mems
- fotorresistente
- Membranas de silicio
- Dispositivos biomédicos
- Recubrimiento de dureza
- Recubrimiento antirreflejos
- fotorresistente
- Pantalla de cristal líquido
- Deficiencias celulares
- Poliamida
- ITO
- Deficiencias celulares
Más información sobre aplicaciones
- Amorfo y polisilicio
- dieléctrico - espesor duro
- Análisis de falla de IC
- ITO y otros TCO
- Equipamiento médico
- espesor del metal
- Microfluídica
- OLED
- Recubrimientos oftálmicos
- Recubrimientos de parileno
- Photoresist
- Silicio poroso
- Películas de tratamiento
- Índice de refracción & k
- Obleas y membranas de silicio
- Aplicaciones solares
- Laboratorios de enseñanza de semiconductores
- Rugosidad y acabado superficial
Mapeo de grosor personalizable hasta 300 mm
Qué está incluido
- Espectrómetro integrado / fuente de luz
cable de fibra óptica - Estándares de reflectancia para secciones de 4 ", 6" y 200 mm.
TS-SiO2-4-7200 Espesor estándar - Estándar de reflectancia BK7
- Filtro de aplanamiento (para sustratos altamente reflectantes)
- Bomba aspiradora
- Lámpara de repuesto TH-1
Beneficios adicionales
- Biblioteca con más de 130 materiales incluidos con cada sistema, con acceso a otros 100
- Ingenieros de aplicaciones disponibles para asistencia inmediata las 24 horas (de lunes a viernes)
- Soporte en línea "Hands On"
- Programa de actualización de hardware
VENTAJAS
- Mapeo rápido
- Muestra de hasta 450 mm de diámetro
- Muchos modelos de tarjeta
- Personalizable
- Automatizado
Accesorios
NIST-traceable thickness standard
F50 chuck - 100mm, 200mm, 300mm & 450mm
F50 small spot option, VIS-UV
Especificaciones
Model Specifications
| Model | Thickness Range* | Wavelength Range |
|---|---|---|
| F50 | 20nm - 70µm | 380-1050nm |
| F50-UV | 5nm - 40µm | 190-1100nm |
| F50-NIR | 100nm - 250µm | 950-1700nm |
| F50-EXR | 20nm - 250µm | 380-1700nm |
| F50-UVX | 5nm - 250µm | 190-1700nm |
| F50-XT | 0.2µm - 450µm | 1440-1690nm |
| F50-s980 | 4µm - 1mm | 960-1000nm |
| F50-s1310 | 7µm - 2mm | 1280-1340nm |
| F50-s1550 | 10µm - 3mm | 1520-1580nm |
*film stack dependent
Thickness Range*
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