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Reflectómetros automáticos de cartografía

F50

F50

1. Mapeo rápido
2. Muestra de hasta 450 mm de diámetro
3. Muchos modelos de tarjeta
4. Personalizable
5. Automatizado

La familia de productos Filmetrics F50 puede mapear el grosor de la película tan rápido como dos puntos por segundo. Una etapa motorizada R-Theta acepta mandriles estándar y personalizados para muestras de hasta 450 mm de diámetro.

Los modelos de mapas pueden ser polares, rectangulares o lineales, o puede crear los suyos sin limitar el número de puntos de medición. Se proporcionan docenas de modelos de tarjetas predefinidos.

El sistema de mapeo de espesor de película F50 se conecta al puerto USB de su ordenador con Windows® y se puede configurar en minutos.

Los diferentes instrumentos F50 se distinguen principalmente por el grosor y el rango de longitud de onda. El estándar F50 es el más popular. Generalmente se requieren longitudes de onda más cortas (por ejemplo, F50-UV) para medir películas más delgadas, mientras que se usan longitudes de onda más largas para medir películas más gruesas, más rugosas y más opacas.

 

 

  • F54 Serie: Fine spot size - sample up to 450mm in diameter - R&D.  More information >
  • F54-XY-200mm Serie: Acoustic protection cover - Production.  More information >
  • F60 Serie: High automation - notch detection - SECS / GEM interface. More information >

Reflectometría

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- Laboratorios de enseñanza de semiconductores

- Rugosidad y acabado superficial

 

Mapeo de grosor personalizable hasta 300 mm

Qué está incluido

  • Espectrómetro integrado / fuente de luz
    cable de fibra óptica
  • Estándares de reflectancia para secciones de 4 ", 6" y 200 mm.
    TS-SiO2-4-7200 Espesor estándar
  • Estándar de reflectancia BK7
  • Filtro de aplanamiento (para sustratos altamente reflectantes)
  • Bomba aspiradora
  • Lámpara de repuesto TH-1

Beneficios adicionales

  • Biblioteca con más de 130 materiales incluidos con cada sistema, con acceso a otros 100
  • Ingenieros de aplicaciones disponibles para asistencia inmediata las 24 horas (de lunes a viernes)
  • Soporte en línea "Hands On"
  • Programa de actualización de hardware

 

 

Automated thickness map f50 med-large

VENTAJAS

- Mapeo rápido
- Muestra de hasta 450 mm de diámetro
- Muchos modelos de tarjeta
- Personalizable
- Automatizado

Accesorios

Nist

NIST-traceable thickness standard

Chuck

F50 chuck - 100mm, 200mm, 300mm & 450mm

Vis-uv

F50 small spot option, VIS-UV

Especificaciones

Model Specifications 

Model Thickness Range* Wavelength Range
F50 20nm - 70µm 380-1050nm
F50-UV 5nm - 40µm 190-1100nm
F50-NIR 100nm - 250µm 950-1700nm
F50-EXR 20nm - 250µm 380-1700nm
F50-UVX 5nm - 250µm 190-1700nm
F50-XT 0.2µm - 450µm 1440-1690nm
F50-s980 4µm - 1mm 960-1000nm
F50-s1310 7µm - 2mm 1280-1340nm
F50-s1550 10µm - 3mm 1520-1580nm

*film stack dependent

Thickness Range*

F50 range

Contáctenos para más información sobre este producto

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Le responderemos dentro de las 24 horas.

 

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