Perfilómetro mecánico 2D
¡Alta resolución al mejor precio!
D500
1. Profilometría 2D
2. platina de 150 mm
3. Motorización manual XY y rotación de 360 °
4. Baja carga aerodinámica
5. Detector óptico doble
El perfilómetro mecánico Alpha-Step D-500 es capaz de medir alturas de pasos 2D que van desde unos pocos nanómetros hasta 1200 µm. También admite mediciones de rugosidad 2D, arco y tensión para I&D y entornos de producción. El D-500 también admite mediciones de rugosidad 2D, arco y tensión para la investigación, desarrollo y producción. El D-500 incluye una platina manual de 140 mm y óptica avanzada con controles de video mejorados.
Aplicaciones de perfilometría mecánica
- Altura del paso: altura del paso 2D
- Textura: rugosidad y ondulación 2D
- Forma: arco y forma 2D
- Restricción: restricción de película delgada 2D
- Industrias
- Universidades, laboratorios e institutos de investigación.
- Semiconductores y semiconductores compuestos
- LED: diodos emisores de luz
- Solar
- MEMS: sistemas micro-electromecánicos
- Almacenamiento de datos
- automóvil
- Equipo médico
- Universidades, laboratorios e institutos de investigación.
Más información sobre aplicaciones
Perfilometría 2D
El perfilómetro mecánico Alpha-Step D-500 admite mediciones 2D de altura de paso, rugosidad, arco y tensiones. La innovadora tecnología de sensor óptico de palanca ofrece mediciones de alta resolución, un amplio rango vertical y capacidad de medición de fuerza reducida.
Una ventaja de la técnica de medición del lápiz es que es una medición directa, independiente de las propiedades del material. La fuerza ajustable y la elección del lápiz permiten una medición precisa de una amplia variedad de estructuras y materiales. Esto le permite cuantificar su proceso para determinar la cantidad de material agregado o eliminado, así como cualquier cambio en la estructura midiendo la rugosidad y las tensiones.
VENTAJAS
- Altura de paso: nanómetros a 1200 µm
- Baja resistencia: 0.03 a 15 mg
- Video: cámara a color de alta resolución de 5MP
- Corrección de la distorsión trapezoidal: elimina la distorsión debida a la óptica de la vista lateral
- Corrección de arco: elimina los errores debidos al movimiento del arco del lápiz.
- Tamaño compacto: huella mínima del sistema para un perfilador de stylus de mesa
- Software: interfaz fácil de usar
Opciones
Stylus options
The Alpha-Step D-500 offers a variety of styli available to support the measurement of step height, steps with a high aspect ratio, roughness, sample bow and stress. The tip radius is between 100 nm and 50 µm and determines the lateral resolution of the measurement. The included angle, between 20 and 100 degrees, specifies the maximum aspect ratio of the feature being measured. All styli are made from diamond to reduce wear and increase the lifespan of the stylus.
Sample plate
The Alpha-Step D-500 has a range of chucks available to meet application needs. The standard mandrel is a nickel-plated aluminum mandrel for samples up to 140 mm. A matte black mandrel is available for transparent samples to minimize reflection from the surface of the mandrel. A universal vacuum mandrel is also available and includes precision locating pins for samples from 50mm to 125mm. Standard and universal chucks support strain measurements with 3-point locators to keep the sample in a neutral position for precise bow measurements.
Insulation tables
The Alpha-Step D-500 offers table isolation and stand-alone options. The Granite Isolator ™ series offers tabletop insulation systems combining granite with high quality silicone gel to provide passive insulation. The Onyz series table insulation systems use pneumatic isolators to provide passive insulation. The TMC 63-500 series isolation table is a stand-alone steel frame table that uses pneumatic isolators to provide passive isolation.
The Alpha-Step D-500 uses the NIST traceable height standards in thin and thick layers proposed by the VLSI standards. The standards include an oxide step on a silicon matrix mounted on a quartz block. A step height range of 8 nm to 250 µm is available.
Apex analysis software
Apex analysis software enhances the standard data analysis capability of the D-500 with an extensive suite of leveling, filtering, step height, roughness and surface topography analysis techniques. Apex supports ISO roughness calculation methods, as well as local standards such as ASME. Apex can also serve as a reporting platform with the ability to add text, annotations and pass / fail criteria. Apex is available in eight languages.
Offline analysis software
The Alpha-Step D-500 offline software has the same data analysis capacity as the tool. This allows the user to analyze data without using the precious time of the tool.
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