Perfilómetro mecánico Muestras grandes
FP Series
1. Muestras grandes de 200 a 500 mm.
2. Cabezas de medición KLA
3. Precisión vertical subnanométrica
4. Trazos largos de barrido
5. Reposicionamiento de alta reproducibilidad
Toho Technology ofrece soluciones de metrología de superficie adecuadas para muestras grandes (de 200 a 500 mm). Usando cabezales de medición KLA, el rendimiento de la serie FP logra una precisión vertical subnanométrica. El "savoir-faire" de Toho se basa principalmente en la adaptación a trazos de barrido largos y el reposicionamiento con alta reproducibilidad
Perfilometría mecánica
Grandes aplicaciones de muestra
Los perfilómetros mecánicos de Toho están diseñados para proporcionar mediciones de perfil precisas en una amplia gama de aplicaciones:
- Alturas de película delgada
- Alturas de película gruesa
- Resinas fotosensibles / películas flexibles
- Caracterización de la rugosidad de la superficie.
- Curvatura y forma de la superficie.
- Restricciones 2D en películas delgadas
- Análisis de la dimensión pico a valle
- Imágenes en 3D
- llanura
- Análisis de fallas
Más información sobre aplicaciones
- Caracterización de materiales
- Metrología general
- Vaso
- Seguridad alimenticia
- Automatización
2D profilometry
Los perfilómetros mecánicos personalizados de Toho ofrecen una funcionalidad de medición integral para instalaciones de investigación y producción en masa que exigen precisión, rendimiento y valor.
Al incorporar el exclusivo cabezal de medición de baja fuerza de KLA-Tencor, los perfiladores Toho proporcionan una fuerza de lápiz baja y permiten mediciones extremadamente precisas desde micras hasta nanómetros para analizar cualquier sustrato cuadrado FPD de más de 300 mm.
VENTAJAS
- Muestras grandes de 200 a 500 mm.
- Cabezas de medición KLA
- Precisión vertical subnanométrica
- Trazos largos de barrido
- Reposicionamiento de alta reproducibilidad
Vivienda de sustrato
Toho ofrece una gama completa de perfiladores de la serie FP diseñados para acomodar sustratos de todos los tamaños. Los modelos FP-10 son perfectos para paneles más pequeños.
KLA-Tencor Micro HeadToho
Los perfiladores están equipados con la tecnología central patentada KLA-Tencor para proporcionar el mejor perfilómetro.
Perfiles de stylus
El lápiz óptico estándar L (2 μm, 60 °) permite un escaneo de precisión con un rango de fuerza de 0.5 mg a 15 mg, proporcionando una longitud de escaneo continuo de hasta 90 mm a una velocidad de 25 mm por segundo.
Repetibilidad
Excelente y confiable reproducción de mediciones con repetibilidad de escaneo de 10 Å en el centro de la escena.
Modelos
Type A: fixed head / moving the scene
(substrates up to 400 mm x 500 mm)
For smaller scale applications where space and budget are limited, the Toho FP-10 is the right choice for surface analysis. The original KLA-Tencor design with a moving stage is used. Two lead screws (X and Y) are used to locate a measurement point, while the patented head and stylus are attached to the stage. Adapting to various materials, shapes and rigidities, the FP-10 offers excellent versatility.
FP-20
Type X: the head is moving / the scene is fixed
(any substrate larger than 400 mm x 500 mm)
With larger glass panels, noise may be generated during sample processing. The FP type X series solves this problem with a removable micro-head. The granite measurement phase has an X axis and a gantry suspends the scanner, the micro-head moving in the Y axis. This structure allows faster measurements with more reliable data from all points of a large area. FP-20s are used in all major display manufacturing plants around the world.
Specifications
Performance
| Scan Repeatability | |
|---|---|
| X and Y Repeatability | ± 2 μm |
| Scan Length | 30 mm ~ 90mm with stress option |
| Scan Speed | 1μm / sec ~ 25mm / sec |
| Sampling Rate | 50 / 100 / 200 / sec |
| Throat Height | 15 mm |
| Vertical Range | 0 – 130 μm |
| L – Stylus | 2 μm / 60 degrees |
| Stylus Force | 0.5 mg – 15 mg |
| Pattern Recognition | Manual / Auto optional |
| Noise | Equipped |
Configuration
| Sample Size (mm) A type | |
|---|---|
| Sample Size (mm) X type | any size larger than 400mm x 500mm |
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