Mapeo automatizado del espesor de película fina
F54
1. Muestra de hasta 450 mm de diámetro
2. Sin límite en el número de puntos
3. Fácil de usar
4. Amplio rango de longitud de onda
Thin-film thickness of samples up to 450 mm in diameter are mapped quickly and easily with the F54 advanced spectral reflectance system. The motorized r-theta stage moves automatically to selected measurement points and provides thickness measurements as fast as two points per second.
- F50 Serie : Customizable thickness mapping - best cost/effective solution. More information >
- F54-XY-200mm Serie : Acoustic protection cover - Production. More information >
- F60 Serie : High automation - notch detection - SECS / GEM interface. More information >
Aplicaciones
- FABRICACIÓN SEMI-CONDUCTIVA
- Fotorresistencia
- Óxidos / Nitruros / SOI
- Molienda / envasado de obleas
- PANTALLAS DE CRISTAL LÍQUIDO
- Brechas celulares
- Poliimida
- ITO
- RECUBRIMIENTOS ÓPTICOS
- Recubrimientos de dureza
- Recubrimiento antirreflejos
- Filtros
- MEMS
- Fotorresistencia
- Membranas de silicio
- Filtros de película fina de AlN / ZnO
Más información sobre aplicaciones
- dieléctrico
- Espesor duro
- Análisis de fallas de IC
- ITO y otro TCO
- Equipo médico
- Espesor del metal
- microfluidos
- OLED
- Recubrimientos oftálmicos
- Recubrimientos de parileno
- Fotoprotector
- Silicio poroso
- Películas de tratamiento
- Índice de refracción & k
- Obleas y membranas de silicio
- Aplicaciones solares
- Laboratorios de enseñanza de semiconductores
- Rugosidad y acabado superficial
Sistema automatizado de mapeo de espesores de película fina
Elija uno de las docenas de patrones de mapa polares, rectangulares o lineales predefinidos, o cree uno propio sin límite en el número de puntos de medición. Todo el sistema de escritorio se configura en minutos y puede ser utilizado por cualquier persona con conocimientos básicos de informática.
El sistema de mapeo de espesor de película F54 se conecta al puerto USB de su computadora con Windows® y se puede configurar en minutos.
Los diferentes instrumentos se distinguen principalmente por su espesor y rango de longitud de onda. Generalmente, se requieren longitudes de onda más cortas (por ejemplo, F54-UV) para la medición de películas más delgadas, mientras que las longitudes de onda más largas permiten la medición de películas más gruesas, rugosas y opacas.
VENTAJAS
- Muestra de hasta 450 mm de diámetro
- Sin límite en la cantidad de puntos
- Fácil de usar
- Amplio rango de longitud de onda
Accesorios
NIST-traceable thickness standard
F50 chuck - 100mm, 200mm, 300mm & 450mm
Especificaciones
Model Specifications
| Model | Thickness Range* | Wavelength Range |
|---|---|---|
| F54 | 20nm - 45µm | 380-1050nm |
| F54-UV | 4nm - 35µm | 190-1100nm |
| F54-NIR | 100nm - 115µm | 950-1700nm |
| F54-EXR | 20nm - 115µm | 380-1700nm |
| F54-UVX | 4nm - 115µm | 190-1700nm |
*film stack dependent
Thickness Range*
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