Reflectómetros multisitio / in situ

Usos múltiples

El F30 reúne varios instrumentos: es una herramienta de calibración previa a la deposición que permite ajustar el tratamiento antes de la deposición real, un monitor en tiempo real del proceso de deposición de película delgada, un sensor de fallas y un instrumento de evaluación posterior a la deposición. Estructura multicapa completa.

Medida de deposición
Para las capas en crecimiento, el F30 monitorea continuamente la reflectancia de la muestra en una o más longitudes de onda. Las propiedades ópticas de la capa depositada producen oscilaciones de interferencia únicas dependientes del tiempo en la señal de reflectividad. El análisis de "interfaz virtual" de estas oscilaciones facilita la determinación de la velocidad de deposición de la capa y las constantes ópticas con una precisión del 1%. Como las capas subyacentes se cuentan automáticamente, no se requiere conocimiento del depósito anterior.

La medición simultánea de la tasa de deposición en dos o más ubicaciones revela la uniformidad de la muestra. El F30 también proporciona un medio eficaz para detectar la rugosidad de la superficie asociada con las transiciones eutécticas utilizadas para la calibración de temperatura.

Medida de capas estáticas
Para capas estáticas (sin cambios), el F30 mide el espectro de reflectancia de la muestra, luego analiza estos datos con potentes rutinas de simulación para determinar el grosor de la capa y sus constantes ópticas. Cualquier capa en una pila de hasta cuatro capas se puede medir de esta manera.